產(chǎn)品分類
PRODUCT CATEGORIES
聯(lián)系我們
CONTACT US
電話:021-65342985
郵箱:info@cross-tech.com.cn
地址:上海楊浦區(qū)松花江路251弄白玉蘭環(huán)保廣場7號樓602室
產(chǎn)品名稱: 電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)
VS5電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是英國牛津真空公司生產(chǎn),臺式設(shè)計(jì)、軟件自動操控、高性價比,非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用。
通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,稱為熱蒸發(fā)鍍膜,熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史最悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖。
技術(shù)規(guī)格:
- 基底尺寸:3英寸,4英寸,6英寸;
- 基底旋轉(zhuǎn):0~10rpm;
- 熱蒸發(fā)源:電阻式熱蒸發(fā)舟,交流電源;
- 腔體:不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇;
- 泵:前級干泵,分子泵;
- Load Lock樣品傳輸腔室:手動或自動傳輸,高真空,支持多種樣品襯底(選配);
- 工藝控制:PC/PLC機(jī)制的自動控制、數(shù)據(jù)處理、遠(yuǎn)程支持;
- 原位監(jiān)控:石英晶振監(jiān)測(QCM),光學(xué)監(jiān)測,殘余氣體分析,其他原位監(jiān)測技術(shù)或控制;
- 襯底固定:單襯底固定,客戶化襯底固定方式;
- 襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉(zhuǎn)等;
參考用戶:
清華大學(xué)、廣東工大、深圳大學(xué)、蘭州理工大學(xué)等。
相關(guān)產(chǎn)品
載德
產(chǎn)品中心
新聞中心
關(guān)于載德
總機(jī):021-65342985 客服熱線:021-65342985
周一至周日 8:00-20:30
地址:上海楊浦區(qū)松花江路251弄白玉蘭環(huán)保廣場7號樓602室
郵箱:info@cross-tech.com.cn 滬ICP備2020028701號-1
Copyright ? 2020 載德半導(dǎo)體 網(wǎng)站建設(shè):中企動力 上海
手機(jī)端