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復旦大學快速退火爐RTP完成驗收
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復旦大學快速退火爐RTP完成驗收

  • 分類：新聞中心
  • 發(fā)布時間：2020-09-23 14:51
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復旦大學快速退火爐RTP完成驗收

  • 分類：新聞中心
  • 發(fā)布時間：2020-09-23 14:51

復旦大學微電子學院從載德半導體技術有限公司采購了兩臺RTP-100快速退火爐，一臺用于快速退火氧化工藝(RTO)，一臺用于快速退火還原工藝。兩臺快速退火爐均為德國UniTemp公司生產，放置在復旦大學張江校區(qū)，本月均通過了學校組織的驗收，正式投入科研工作。

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